精密加工和超精密加工代表了加工精度發展的不同階段，通常，按加工精度劃分，可將機械加工分為一般加工、精密加工、超精密加工個階段。精密加工是指加工精度為1～0.1μm、表面粗糙度為Ra0.1～0.025μm的加工技術；超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術，因此，超精密加工又稱之為亞微米級加工。

根椐目前精密平面磨削的現狀，超精密平面磨削的技術指標見下表

超高精度級平面磨床主要技術參數與目前三個精度級的對比單位mm

技術指標精度級別	普通級	精密級	高精度級	超高精度級
工作臺面平面度G1	1000:0.01	1000:0.008	1000:0.005	1000:0.001-0.002
試磨件的加工精度P1、P2	300:0.005	200:0.002	200:0.0015	200:0.0001-0.0005
試磨件的粗糙度Ra	0.63μm	0.16μm	0.08μm	≤0.02μm
砂輪最小進給靈敏度	0.005-0.01	0.001-0.002	0.0005-0.001	≤0.0001

二、超精密平面磨削的技術要求

根據超精密平面磨削的技術指標，超精密平面磨削機床的技術要求如下：機床的砂輪進給能實現微量進給，機床具有足夠的靜、動態剛性，機床的熱變形及振動的控制有更高要求。歸納主要有以下幾點內容：

（1）機床布局型式；（2）新材料運用；（3）主軸精密回轉技術；（4）微量進給技術；（5）運動導軌型式；（6）高精度溫度控制技術。